제품 규정 서
SPECIFICATIONS
딥 자 외 핵심 재 료 · Algan 외연 편 / 템 플 릿
WAGN-AN001
1~2 μm，(002) ≤ 300 arcsec，(102) ≤ 500 arcsec
회사 뉴.
Hubei DUVTek Co., LTD.
오 동 호, 오 동 호, 후 베 이 성
Building B08, Donghu High-tech Innovation City, No. 9 Fenghuang Avenue, Wutong Lake New District, Ezhou, Hubei, China
| 성능 Properties | 매개 변수 값 Vlue |
|---|---|
| 직경 Diameter | 50.8±0.05 μm |
| 기 판 타 입 Substrate | AlN template |
| 기 판 두께 Substrate Thickness | 430±20 μm |
| 외연 층 두께 Epilayer Thickness | 1~2 μm |
| (002) 수정체 질량 Cry stal quality (FWHM of 002 XRC) | ≤ 300 arcsec |
| (102) 수정체 질량 Cry stal quality (FWHM of 102 xRC) | ≤ 500 arcsec |
| 정면 거 친 도 Front side roughness | ≤ 2 nm |
| 테두리 공제 Edge exclusion | ≤ 3 mm |
| 균열 관통 Through Crack | none |
| a 면 (11 - 20) 취향 Surface orientation of a - plane | 0°±0.1° |
| m 면 (11 - 20) 취향 Surface orientation of m - plane | 0.2°±0.1° |
| 포 지 셔 닝 변 결정 프 라이 머리 플 래 트 오리 엔 테 이 션 으로 | a-plane±0.1° |
| 포 지 셔 닝 변 길이 Primary flat length | 16±1 mm |
| 반면 거 친 Back side roughness | 0.8±0.2 μm |